Alicat的23系列質量流量控制器是根據真空涂層和噴濺過程中所要求快速關閉功能而設計的。一個啟動截止閥是常閉的，并且保證一個大氣壓下氦氣最大泄露為1 x 10-9下有效的關閉。

23系列質量流量控制器采用的是與其他alicat產品一樣的層流差壓式專利技術。在速度和精度需要計算時，23系列所體現的完美的精度和響應時間。

Alicat 的23系列可以在響應時間為50-100ms的條件下控制從0.5sccm的小流量到20slpm的大流量-響應時間可以大大的改良你的最終產品，并且幫助排除誤差。

每個23系列都是預先設定的30種校準氣體和顯示質量流量、體積流量、絕壓和溫度。Alicat的23系列也可以直接通過設備的按鍵或者RS-232來編程設定，使用RS-232可以通過一對線串聯最多26臺設備。

23系列供電電壓為12-30Vdc，單一輸入和輸出暴漏0-5Vdc。0-10Vdc、4-20mA和RS-232（可選PROFIBUS）

特點和優點

• 響應時間50-100ms

• 量程 0.5sccm-20slpm

• 模擬和數字通信（可選PROFIBUS）

• 30種預設定校準氣體

• 精度±0.8% 的讀數±0.2% 滿刻度

• 可選高精度±0.4% 的讀數±0.2% 滿刻度

• 操作量程1%-100%

• 數字顯示質量流量、體積流量、絕壓和溫度

• 無預熱時間

• 小巧設計，方便替換其他設備

• 保證標準大氣壓下氦氣最大泄露1 x 10-9的氣動截止閥

• 終身維修